Von der Nanofabrikation zur Nanofertigung

ZEISS Technology Workshop und User Meeting zum Thema Multi-Ionenstrahl-Anwendungen an der Universität Melbourne

Nutzerbericht

ZEISS ORION NanoFab am Center for Neural Engineering, Universität Melbourne. Mit freundlicher Genehmigung von Peter Hines, QUT, Queensland, Australien.
ZEISS ORION NanoFab am Center for Neural Engineering, Universität Melbourne. Mit freundlicher Genehmigung von Peter Hines, QUT, Queensland, Australien.

Vom 5. bis 6. Februar 2016 fand im Center for Neural Engineering, Universität Melbourne ein ZEISS Technology Workshop und User Meeting zum Thema Multi-Ionenstrahl-Anwendungen statt. 18 Wissenschaftler aus neun verschiedenen Instituten waren der Einladung von ZEISS gefolgt. Zweck des Workshops war es, Benutzer von ZEISS ORION NanoFab in der Region zusammenzubringen, Kooperationen anzuregen und Erfahrungen der Benutzer mit dem System zu sammeln. Auf diese Weise informierte sich die Community über die Breite der Anwendungen in Nanoimaging, Nanofabrikation und Nanostrukturierung. Alle Teilnehmer hatten dabei Gelegenheit, Erfahrungen und Ideen über neue Anwendungsfelder auszutauschen.

 

Die wissenschaftlichen Vorträge von Shinichi Ogawa (AIST, Japan) und Peter Hines (QUT, Australien) regten zu vielfältigen Diskussionen an. ZEISS Spezialisten diskutierten vor Ort künftige Produkt- und Applikationsentwicklungen für die ORION Multi-Ionenstrahl-Plattform. Die Teilnehmer kamen darüber hinaus in den Genuss der exklusiven Vorstellung eines vor der Einführung stehenden Produkts via Live-Videokonferenz direkt aus dem ZEISS Ion Microscopy Innovation Center (IMIC) in Peabody, USA. Das Feedback zu dem in Kürze öffentlich vorgestellten Upgrade-Modul war einhellig positiv, da komplexe Prozesse in der Nanofabrikation und die Strukturierung von Arrays über sehr große Flächen enorm von einer verbesserten Workflow-Automatisierung profitieren werden.

Helium-Ionen-Mikroskopie von ZnO-Nanostäbchen/Ag-Nanopartikeln als Materialien für Biosensoren. Mit freundlicher Genehmigung von Eric Flaim, Universität Alberta.
Helium-Ionen-Mikroskopie von ZnO-Nanostäbchen/Ag-Nanopartikeln als Materialien für Biosensoren. Mit freundlicher Genehmigung von Eric Flaim, Universität Alberta.

Das User Meeting erwies sich als willkommene Gelegenheit, Kooperationen zu initiieren und eine User Community zum Wissensaustausch und zur gegenseitigen Unterstützung zu gründen. Die interessierten Wissenschaftler waren beeindruckt von der Anwendungsbreite von ORION NanoFab und konnten ihre Erkenntnisse über die für das System einzigartigen Applikationen vertiefen. Die eingeladenen Forscher von verschiedenen Universitäten zeigten sich hoch interessiert, in ihrem Arbeitsbereich Zugang zu ORION NanoFab-Systemen zu erhalten und Kooperationen anzubahnen.

ZEISS Technology Workshop und User Meeting zum Thema Multi-Ionenstrahl-Anwendungen an der Universität Melbourne
ZEISS Technology Workshop und User Meeting zum Thema Multi-Ionenstrahl-Anwendungen an der Universität Melbourne

„Es war eine großartige Gelegenheit, sich mit anderen Benutzern in Australien zu vernetzen. Ich glaube, Zusammenarbeit und gemeinsames Lernen werden uns künftig zu neuen Höhen führen und den Kenntnisstand in der Wissenschaft mit diesem fantastischen Werkzeug merklich erweitern.“ – Chaturanga Bandara (Queensland University of Technology, Australien)

„Diese Form der Kommunikation unter Wissenschaftlern, die mit Rasterionenmikroskopen arbeiten, ist äußerst interessant und wichtig für die Entwicklung von Anwendungen für diese Technologie. Ich hoffe, wir werden solche Konferenzen in Asien kontinuierlich haben.“ – Dr. Shinichi Ogawa (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Japan)

 

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Über ZEISS User Meetings und Technology Workshops

ZEISS Technology Workshops ermöglichen Expertengespräche und Hands-On am Gerät. Für Wissenschaftler, die an Ionenstrahltechniken interessiert sind, gibt es keine bessere Möglichkeit, sich zu informieren und direkt mit wissenschaftlichen Experten und Mitarbeitern von ZEISS zu sprechen. Fragen Sie Ihren Kundenbetreuer, welche Möglichkeiten und Veranstaltungen es in nächster Zeit in Ihrer Region gibt.

Über die Vortragenden

Dr. Peter Hines, Surfaces and Physical Properties Laboratory Coordinator, Queensland University of Technology (QUT)

Peter Hines erwarb seinen Bachelor of Engineering und Ph.D. an der Universität Queensland, wo er an der Entwicklung von Eisen-Titankarbid-Verbundwerkstoffen arbeitete, die aus Mineralsand als Rohstoff synthetisiert werden. Diese Arbeit setzte er mit einer Forschungsstelle am Industrial Research Limited Crown Research Institute, Neuseeland, fort. Nachfolgend entwickelte er an der QUT und Universität Monash Online-Lernumgebungen für Studenten der Werkstofftechnik.

Im Jahr 2003 wandte er sich wieder dem „Labortisch“ zu und trat dem Team der Electron Microscope Unit an der Universität Sydney bei. Bis zu seiner Rückkehr an die QUT im Jahr 2010 hatte er verschiedene Rollen inne, unter anderem als SEM-Spezialist und stellvertretender Laborleiter. Peter Hines half bei der Gründung der QUT Central Analytical Research Facility und leitete erst das Mikroskopielabor und später die Thin Films- und Physical Properties-Labors. In dieser Rolle war er für den Einkauf und die Inbetriebnahme von Australiens erstem Helium-Ionen-Mikroskop mit ZEISS ORION NanoFab zuständig. Gegenwärtig arbeitet er mit einer Reihe von Anwendern an der Nutzung der Ionenstrahlmikroskopie für ihre Anwendungen in Biologie, Materialforschung und Plasmonik.

Dr. Shinichi Ogawa, Senior Research Scientist, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)

Dr. Shinichi Ogawa absolvierte sein Studium am Department of Applied Physics Engineering der Universität Kyoto und promovierte 1992 an der Universität Osaka mit einer Arbeit zur Schnittstelle Metall/Silizium in Ingenieurwissenschaften. Bereits im Jahr 1978 kam er zur Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. (heute Panasonic Inc.), wo er an Si-CMOS-LSIs-Prozessen und -Materialien – insbesondere an Interconnect-Technologien – arbeitete. Während dieser Entwicklungsarbeit entdeckte er einzigartige Imaging-Möglichkeiten der Helium-Ionen-Mikroskopie (HIM) und kam mit der Einführung der HIM im Jahr 2010 an das AIST (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology). Seither untersucht er spezielle Anwendungen der HIM in den Bereichen Nanoelektronik/-mechanik, Nanomaterialien und Biotechnologie.
Er hat mehr als 200 Artikel einschließlich Konferenzabhandlungen veröffentlicht und arbeitet derzeit als Gastprofessor des Dept. Biotechnology, Graduate School of Engineering, Universität Osaka.

Tags: Elektronen- und Ionenmikroskopie

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